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AIS 2200C


产品描述

韩国世伦(SERON)科技株式会社为客户提供世界领先技术、新颖有特色的扫描电镜。世伦科技10年来,在电子光学领域积累了广博而精细的实用技术,为电镜市场带来许多开创性的技术革新。关注客户需要并结合不断技术升级战略,世伦科技保障产品核心技术不断创新,为客户带来更多价值。 基于客户容易操作,容易获得满意结果的开发理念,韩国世伦(SERON)科技最新推出结构更加紧凑,性能更加卓越的第四代AIS 系列扫描电镜。 
   AIS
系列扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。

u  主要特点----适合多种探测器同时分析

       AIS-2200C型扫描电镜除了拥有AIS-2100C型扫描电镜“容易操作,容易观察”优秀特点以外,下三个特点更加贴近经常做材料各种分析的用户:
1
、 使用了为方便扫描电镜多种分析而发展的超级锥形物镜,配合结构优化设计的中大型样品室,各种探测器的位置布局科学合理,SE/BSE/EDS/WDS/EBSD探测器能够以最佳的接收角度同时接收信号,为电镜分析工作带来极大方便。
2、升级后的扫描线圈,性能更强大,具有优良的电子束定位精度和更高的扫描频率,在搜索模式视频扫描,实现动态观察。结合全自动的图像质量控制,搜索视频光滑无噪音,电镜操作舒适流畅。
3
、最大工作距离可达60mm,具有优秀的低倍性能。

u  技术参数
电子光学系统
分辨率:
3.0nm SE@30KV / 4.0nm BSE@30KV
               
4nm@BSE Mode for LV Mode
图像采集模式:二次电子,背散射电子像 ,彩色光学显微镜图像
探测器:E-T二次电子探测器。 (二次电子探测器可方便采集背散射电子图像
)
放大倍数:5~1000
000X
加速电压:
0.5~30KV
灯丝:预对中发叉式钨丝阴极

电子枪偏压:自动无缝偏压,偏压与加速电压联动

电子枪对中:4极电磁型,自动对中

聚光镜:双电磁透镜

物镜:35°圆锥形电磁透镜

消象散器:8极电磁型  自动记忆象散

图像电位移:4极电磁型
X-Y , ±50um
自动控制功能:自动电子枪发射,枪偏压,枪对中,聚焦、象散、 亮度、对比度

图像采集显示系统

扫描方式:点/线//选区/搜索/观察/照相存储

数字图像分辨率      
            选区(640X480)
            搜索(800X600)
            观察(1280X960)
            存储(4096X3072)

     亮度对比度:自动 可记忆恢复
样品室和样品台

内部尺寸:
250 X 300 X 270mm (W X L X H)
样品台类型:五轴、机械全对中样品台  

运动行程:X=50mm Y=60mm Z=57mm 倾斜-30~ 90° 旋转360°无限 

马达驱动:
X, Y, Z, R, T (5-axis Motorized stage Option) ,坐标导航指令控制。
真空系统

扩散泵+旋片式机械泵。 涡轮分子泵+旋片式机械泵 (选配
)
真空监测控制:皮拉尼真空计+潘宁规,带有安全装置的全自动控制真空系统

低真空:
1~300Pa,
计算机及软件

PC兼容机:WindowsXP,19LCD显示器,
Intel Dual CPU Co-Processor 3.0 GHz(minimum) 1GB RAM, Hard Disk > 250 GB
操作软件:自诊断功能GUI操作控制软件

操作方式:鼠标+键盘

图像处理分析功能:视频信号实时处理,像素平均,彩色变换,直方图,高频滤波,用户自定义滤波,多点聚焦,3D图像生成,图像拼接,特征标注,几何测量等

图像存储报告:JPEG, BMP, PCX, TIF格式,可自动存储,自动报告生成

颗粒度分析软件:粉末粒度,金相颗粒度,相结构分析,显微硬度,膜层厚度分析等

可选配:EDSWDSBSEEBSD,纳米操纵器,样品室CCD等多种探测器。

 



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