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小型离子溅射仪


产品描述

HC-21离子溅射镀膜机是为普通扫描电镜非导电样品制备而设计的一款性能优越的经济型产品,可以溅射金,银,铜,铝等靶材。
主要特点:
1.方便操作的自动真空系统
2. 高速镀膜减少敏感样品热损伤High speed coating for reduce heat damage to sensitive specimens.
3. 各种形貌的镀膜质量非常均匀All shapes, size coating uniformly
4. 集成化的设计.
性能指标:
1. 溅射系统  : 顶部电极发射系统
2. 工作真空度: ~10 -1 Pa (~10 -3 Torr)
3. 高压电源: DC 0 ~ 1.2 kV (连续可调)
4. 靶材: 57mm dia 金靶盘 (标准) or 碳
5. 真空监测: 皮拉尼真空计
6. 时间控制范围: 0.1sec, sec, min, hour
7. 离子流: Air / Ar / N
8. 电源 : 220VAC, 单项
9. 外形尺寸(mm) : 300(H)X430(W)X320(D) ; 玻璃样品室尺寸: 120(Dia)X110 (H)
10. 重量 (kg) : 15



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